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大行程型線性壓電陶瓷納米定位臺

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產(chǎn)品型號：NM-200

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品牌	PDV/派迪威	應用領(lǐng)域	綜合

定制品價格請聯(lián)系客服

產(chǎn)品描述：

NM-200緊湊型線性納米定位臺，沿Z方向可提供200μm行程的運動。其緊湊的設計使其成為許多光子學和光纖定位應用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅(qū)動的線性位移臺，由于固態(tài)彎曲和平行結(jié)構(gòu)，這些壓電平臺可以在X和Z方向上移動而沒有任何機械間隙。它們可提供比機械或機電系統(tǒng)更高的分辨率。

NM-200系列位移臺可以輕松地與XY和壓電偏轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)合使用，以提供所有自由度的定位。閉環(huán)版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。

NM-200非常適用于小部件例如反射鏡和激光二極管）的納米級精確定位，特別是在需要長期穩(wěn)定性的應用中。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號	NM-200	NM-200S	公差
運動軸	Z	Z	——
集成傳感器	——	SGS	——
標稱行程范圍(@0~+120V)	200μm	200μm	±10%
最大行程范圍(@-20~+150V)	240μm	240μm	±20%
分辨率	1.8nm	3.6nm	typ.
最小移動步長	7.0nm	7.0nm	typ.
線性誤cha	——	0.02%~0.05%	typ.
重復定位精度(全行程)	——	0.05%	typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))	10μrad	10μrad	typ.
承載能力	5N	5N	Max.
諧振頻率(0g)	420Hz	420 Hz	±20%
運動方向剛度	0.5N/μm	0.5N/μm	±20%
運動方向推力/拉力	30N/10N	30N /10N	±20%
驅(qū)動機構(gòu)	壓電陶瓷	壓電陶瓷	——
工作溫度范圍	-20~+80℃	-20~+80 °℃	typ.
線纜長度	1.5m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	——	——	——
外形尺寸(長×寬×高)	54×54×25mm	54×54×25mm	——
重量	95g	95g	±5%
PZT&Sensor連接器	LEMO	LEMO	——
本體材質(zhì)	鋼、鋁	鋼、鋁	——

注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-"表示為不適用。

1.尾綴“-S"為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“S，無線性誤差、重復度數(shù)據(jù)。

2.最大驅(qū)動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在0..+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。

3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定

4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應的位移步長值。

5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構(gòu)造成損壞。

6.更長的線纜長度請咨詢。

7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。

產(chǎn)品尺寸：

大行程型線性壓電陶瓷納米定位臺

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