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三維小體積壓電納米定位臺PT-NMXYZ30

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品牌	PDV/派迪威	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

產(chǎn)品參數(shù)：

按要求定制
型號		PT-NMXYZ30
運(yùn)動自由度		X、Y、Z
驅(qū)動控制		1路驅(qū)動，1路傳感
X,Y方向行程		大于40μm
Z軸行程		40μm
X軸精度		高于500nm
Y,Z方向精度		高于1000nm
標(biāo)稱行程范圍(0~120V）		80μm±10%
Max.行程范圍(0~150V)		100μm±10%
傳感器類型		SGS/－
閉/開環(huán)分辨率		3/0.1nm
閉環(huán)線性度		0.05/－%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度		0.02/-%F.S.
俯仰/偏航/滾動		<10μrad
推/拉力		30/10N
運(yùn)動方向剛度		0.3N/μm±20%
空載諧振頻率		0.3kHz±20%
閉/開環(huán)空載階躍時間		10/0.8ms±20%
閉環(huán)工作頻率（-3dB）		70（負(fù)載100g）Hz±20%
承載能力	水平安裝	0.8kg
	立式安裝	0.05kg
	倒置安裝	0.8kg
靜電容量		1.8μF±20%
材質(zhì)		鋼、鋁
重量		100g±5%

產(chǎn)品尺寸：

三維小體積壓電納米定位臺PT-NMXYZ30

北京派迪威儀器有限公司（簡稱：派迪威）是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、自動化控制等技術(shù)于一體的企業(yè)。自2005年起一直服務(wù)于科研大專院校根據(jù)客戶需求，研發(fā)配套軟硬件系統(tǒng)產(chǎn)品（光路搭建、軟件開發(fā)、機(jī)械電路設(shè)計等)通過長期的不懈努力、對光路搭建系統(tǒng)的工藝把控和對客戶的優(yōu)良服務(wù)，在科研、大專院校、機(jī)械自動化等諸多領(lǐng)域成長為信譽(yù)度良好的廠商。公司設(shè)計生產(chǎn)長焦鏡頭，自動化機(jī)械控制臺、手動控制臺、超亮度光源等產(chǎn)品。

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